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本文標(biāo)題:掃描顯微鏡的電鏡鏡筒和電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-5-12 10:02:19

掃描顯微鏡的電鏡鏡筒和電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)

掃描顯微鏡的電鏡鏡筒包括電槍、聚鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)。很細(xì)的

電子束，并且電子束在樣品掃描激發(fā)出信號(hào)。

掃描顯微鏡的電鏡電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)在樣品室中，掃描電

子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號(hào)，其中包括電子、射電子

、射線、吸電子、俄電子等。

掃描顯微鏡的電鏡在信號(hào)中主要的是二次電子，入射電子激發(fā)出來(lái)

的原子的外層電子，在樣品表面區(qū)域產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌

和成分。

掃描顯微鏡的電鏡通常所說(shuō)的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它

是研究樣品表面形貌的最有用的電子信號(hào)。

掃描顯微鏡的電鏡檢測(cè)二次電子的檢測(cè)的探頭是一個(gè)閃爍信號(hào)體，

當(dāng)電子打到閃爍信號(hào)體上時(shí)產(chǎn)生光，這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍

增管，光的信號(hào)即被轉(zhuǎn)變成電流信號(hào)，再放大及視頻放大，電流信

號(hào)轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào)，最后被送到顯像管的柵極。