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本文標(biāo)題:顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統(tǒng)

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-4-17 10:50:03

顯微鏡中電子顯微鏡的真空系統(tǒng)

電子顯微鏡的真空系統(tǒng)包括機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門三部

分，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

電子透鏡是電子顯微鏡鏡筒中的關(guān)鍵部件。

現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過帶

極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)使電子聚焦。

電子槍的作用是發(fā)射并形成速度均勻的電子束，由陰極、柵極和陽(yáng)

極構(gòu)成。

陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽(yáng)極電壓加速

后射向聚光鏡，起到對(duì)電子束加速、加壓的作用。

使用中加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬(wàn)分之一。電子顯微鏡按結(jié)

構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電

子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。