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本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡與物質(zhì)的相互作用

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-4-2 9:28:38

掃描電子顯微鏡與物質(zhì)的相互作用

掃描電子顯微鏡的電子束不穿過(guò)樣品，僅以電子束聚焦在一小塊地方

掃描樣本。入射的電子被激發(fā)出次級(jí)電子。

觀察散射出來(lái)的電子，樣品閃爍接收這些次級(jí)電子，通過(guò)放大后顯像

管的電子束強(qiáng)度，改變管熒光屏上的亮度。圖像為立體形象，反映了

標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。

顯像管的線圈與外部電子束保持同步掃描，這樣熒光屏就顯示出樣品

外觀的形貌圖像，這與工業(yè)電視機(jī)的工作原理相類似。由于這樣的顯

微鏡中電子不必透射，因此電子的電壓不必高。

掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯

像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比，幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬(wàn)

倍。

掃描式電子顯微鏡不需要很薄圖像有很強(qiáng)的立體感，利用電子束與物

質(zhì)相互作產(chǎn)生的次級(jí)電子、吸收電子和射線等分析物質(zhì)成分。

掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的

人射電子物質(zhì)時(shí)，被激發(fā)產(chǎn)生二次電子、電子、射線和連續(xù)射線、散

射電子、透射，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。

同時(shí)也可產(chǎn)生電子空穴對(duì)、晶格振動(dòng)、電子振蕩。